Kristallisation

Das Fraunhofer CSP bietet mit den Kristallisationstechnologien eine Plattform für industrierelevante Kristallisationen mit Anlagengrößen im Produktionsmaßstab. Aktuelle Schwerpunkte unserer Forschungsaktivitäten stellen Fragen zur Senkung der Prozesskosten, Optimierung der Kristalleigenschaften und Prozessvereinfachung durch weitergehende Automatisierung dar.

Durch die Kompetenzen des Fraunhofer CSP und durch die Einbindung in die Struktur des Fraunhofer-Instituts für Solare Energiesysteme ISE steht im Anschluss an die Kristallisation das gesamte Spektrum der Siliziumtechnologie beginnend bei der Materialcharakterisierung, der Kristallbearbeitung, über Wafer- und Zellenfertigung, der Zellenzertifizierung bis hin zur Modulherstellung und -prüfung zur Verfügung.

 

Wir bieten:

  • Testzüchtungen von Siliziumkristallen zur Klärung materialspezifischer Fragen
    • Czochralski Kristalle bis 300 mm Durchmesser und 180 kg Gewicht
      •  p-Typ, n-Typ
      • Dotierstoffelement (Phosphor, Gallium, Bor und weitere) und Konzentration nach Wunsch
    • Float-Zone Kristalle (FZ) bis 4 Zoll Durchmesser
    • Siliziumcarbid-Kristallisation (SiC)
  • Forschungs- und Entwicklungs-Arbeiten zur Prozessführung und Prozessverbesserung
  • Herstellung kundenspezifischer Kristalle

Kristallisationsexpertise

 

Czochralski

 

Float-Zone

 

Siliziumcarbid-Kristallisation (SiC)

Czochralski

Czochralski-Einkristalle
© Fraunhofer CSP
Mit unseren Kristallisationsanlagen EKZ-2700 und EKZ-3500 lassen sich Einkristalle bis zu 300 mm Durchmesser herstellen.

Das Fraunhofer CSP verfügt mit einer EKZ-2700 und zwei EKZ-3500 (jeweils PVA-Tepla) über moderne und leistungsfähige Kristallisationsanlagen zur Herstellung von Einkristallen bis zu 300 mm Durchmesser. Die Anlagen sind mit einem optimierten Hot-Zone Design, einem Graphittrichter und einer separat belüftbaren Schleuse ausgestattet, was die Kristallisation mehrerer Kristalle aus einem Tiegel erlaubt. Der Prozess wird weitgehend automatisch gesteuert. Für die Variation von Durchmesser, Neigung im Schulterbereich oder einem verkürzten Endkonus, sind unterschiedliche Rezepte verfügbar. Eine Einrichtung zum Nachchargieren zur Maximierung der Einwaage beziehungsweise für Versuche zu »multi-pulling« steht zur Verfügung, ebenso wie eine aktive Kristallkühlung, wodurch die Wärmeabfuhr während der Kristallisation verbessert wird, was schnellere Kristallisationsraten erlaubt.

Derzeit stehen Fragestellungen wie die Verlängerung der Tiegelstandzeit, Transport von Sauerstoff in den wachsenden Kristall sowie Optimierung des Prozesses im Hinblick auf Zeit- und Energiemanagement im Vordergrund. Des Weiteren werden für Polysilizium-Hersteller Testkristallisationen bearbeitet und Fragestellungen zur Materialgüte, zur resultierenden Widerstandsverteilung, zur Ladungsträgerlebensdauer und letztendlich der daraus entstehenden Solarzellenwirkungsgrade beantwortet.

Float-Zone

Float-Zone-Kristallzuchtanlage FZ-14
© Fraunhofer CSP
Die FZ-14 ist eine Float-Zone-Kristallzuchtanlage für die industrielle Produktion von einkristallinen Siliziumkristallen bis 100 mm (\(4"\)) Durchmesser.

Mit der FZ-14 ist das Fraunhofer CSP in der Lage, Float-Zone-Kristalle bis zu einem Durchmesser von 4“ (100 mm) und einer Länge bis 130 cm zu züchten. Im Fokus der Float-Zone (FZ)-Aktivitäten stehen Materialtests zur Tauglichkeit von Polystäben für die FZ-Anwendung, die Herstellung von Vorratsstäben aus kostengünstigem Solar-Silizium sowie die Verbesserungen der Prozessautomatisierung. Die Vorteile dieser Technologie, wie schnellere Kristallisationsgeschwindigkeit, geringe Sauerstoff- und Kohlenstoffkonzentrationen und Wegfall der Tiegelkosten, bergen ein großes Potenzial für die Anwendung im Photovoltaik-Bereich.

FZ-Kristalle zeigen im Allgemeinen die mit Abstand höchsten Ladungsträgerlebensdauern (> 6-8 ms), woraus die höchsten Zellwirkungsgrade resultieren. Voraussetzungen für eine breitere Anwendung sind ein höherer Automatisierungsgrad des Prozesses sowie die Sicherstellung einer ausreichenden Versorgung mit FZ tauglichem Ausgangsmaterial. Durch die einfache Möglichkeit der Dotierung aus der Gasphase, können sehr homogene Dotierstoffverläufe eingestellt werden. Dies ist ein interessanter und wichtiger Aspekt im Hinblick auf die Kristallisation von n-Typ Silizium.

Siliziumcarbid-Kristallisation (SiC)

SiCma („Silicon Carbide machine“) zur Herstellung von SiC-Kristallen mittels physikalischen Gasphasentransports (Physical Vapor Transport, PVT)
© Fraunhofer CSP
SiCma („Silicon Carbide machine“) zur Herstellung von SiC-Kristallen mittels physikalischen Gasphasentransports (Physical Vapor Transport, PVT)

Das SiCma‑System wurde für die reproduzierbare Herstellung von Siliziumkarbid‑Kristallen (SiC) mittels Physical Vapor Transport (PVT) konzipiert. Dabei wird das pulverförmige Ausgangsmaterial bei hohen Temperaturen sublimiert und anschließend kontrolliert auf einem entsprechend vorbereiteten Substrat abgeschieden. Die Prozesswärme wird über eine induktiv betriebene Heizeinheit im Kilohertz‑Bereich bereitgestellt. Das Spulendesign ist dabei gezielt auf eine hohe Energieeffizienz ausgelegt.

Das System ermöglicht die Verarbeitung von Substraten mit Durchmessern von 100 bis 150 mm (4″ bis 6″). Ein hoher Automatisierungsgrad sowie eine kompakte Anlagengeometrie unterstützen den Einsatz in industriellen Fertigungsumgebungen mit hohem Durchsatz. Ergänzend steht ein mobiles Be- und Entladesystem zur Verfügung. Darüber hinaus können modulare Optionen wie Vakuumpumpen oder messtechnische Erweiterungen flexibel integriert werden.

Equipment

EKZ 3500 Czochralski-Puller zur Kristallzüchtung
© Fraunhofer CSP
EKZ 3500 Czochralski-Puller für die Produktion von monokristallinen Siliziumkristallen.
Czochralski-Schmelzverfahren
Kristallisation eines 8“ Czochralski-Einkristalls.

Für unsere Kunden führen wir Testzüchtungen von Siliziumkristallen durch, wobei materialspezifische Fragen geklärt werden können. Wir verfügen dabei nicht nur über eine umfangreiche Anzahl an verschiedener Kristallisationsanlagen, sondern auch über personelle Ressourcen für den zuverlässigen Betrieb dieser. Eine vertrauensvolle Zusammenarbeit mit unseren Kunden ist uns dabei von höchster Priorität. Unser engagiertes Team greift zur Klärung Ihrer Fragen auf folgendes Equipment zurück:

  • Czochralski EKZ-2700: Einkristalle ≤9“ (Länge: 70 cm); p-Typ / n-Typ Material; Restgasanalyse; Nachchargierung (optional)
  • 2x Czochralski EKZ-3500: Einkristalle ≤12“ (Länge: 200 cm); aktive Kristallkühlung
  • Dünnstabziehanlage (DZA 3000)
  • FZ-14: Einkristalle 4“ (Länge: 130 cm)
  • FZ-35: Einkristalle bis 8“; p-Typ, n-Typ
  • VGF-732: G4 Hot-Zone (250 kg); Restgasanalyse (MKS); In-situ Messung der Kristallisationsrate
  • Vakuum-Induktionsschmelzanlage (Steremat)
  • Mechanische Kristallbearbeitung: Ingot-Shaper IS-160 MK-II
  • Hochauflösende Optik zur Phasengrenzbeobachtung
  • GD-MS (ThermoScientific): Analyse von Restverunreinigungen im ppb Bereich; gepulste Quelle für erhöhte Ortsauflösung
  • LPS / PL: Lateral photovoltage scanning mit integrierter Photolumineszenz

Aktuelle Projekte und Highlights unserer Arbeit

 

300 mm Si-Mono-Cz-Kristalle

Die Züchtung von 300 mm Silizium-Mono-Ingots für Solaranwendungen ist herausfordernd. Der von Kostenreduzierung getriebene Verzicht auf einen externen Magneten zur Schmelzkonvektionskontrolle sollte Kristallisationsgeschwindigkeit und Ausbeute nicht beeinträchtigen. Am Fraunhofer CSP wurden Herstellungsexperimente durchgeführt, um den aktuellen Stand der Prozessentwicklung zu zeigen.

 

Kristallisation von Float-Zone-Material

Mit der Etablierung von PERC-Zellstrukturen und n-Typ-Mono-Si-Materialien in der Silizium-Photovoltaik ist auch eine Umstellung bestehender Produktionslinien auf neue Fertigungsverfahren zu beobachten. Mit den bei der Entwicklung materialkompatibler Kristallisations- und Sägeprozesse einhergehenden Fragen beschäftigt sich das Projekt „Kostenoptimierte Hocheffizienz-Solarzellen aus sauerstoffarmen n-Typ-Mono-Silizium für die industrielle Massenfertigung“ (KosmoS).

 

Hocheffizienz-Float-Zone-Solarzellen

Die Float-Zone (FZ) Methode erlaubt das Wachstum von Silizium-Kristallen mit hervorragenden Eigenschaften gerade in Hinblick auf die Sauerstoffkonzentration. Im Gegensatz zu anderen Wachstumsmethoden liegt diese hier um mehr als zwei Größenordnungen niedriger. Dadurch sind FZ-Kristalle besonders für den Einsatz in der Leistungselektronik interessant.

 

EMPOWER

Das Fraunhofer CSP ist Teil des europaweiten Projekt EMPOWER, welches eine resiliente und nachhaltige europäische PV-Wertschöpfungskette von morgen erarbeitet.