Wafer 4.0

Das Erfassen von Prozessdaten durch Produktionsmaschinen selbst zählt in Zeiten der Digitalisierung in sämtlichen Industriebereichen bereits zum Standard. Das Wafer4.0-Projekt verfolgt daher das Ziel, eine starke Erweiterung der Prozessmesstechnik umzusetzen. Eine umfassende Sensorerweiterung ist die Grundlage für eine ganzheitliche Prozessüberwachung über die reguläre, maschinenseitige Prozessdatenerfassung hinaus. Es wird ein Big-Data-Datenpool in einer Open-Source-Datenbank geschaffen. Jeder im Projekt entstandene Wafer ist darin mit seinem digitalen Fußabdruck, den er im Prozessverlauf hinterlassen hat, vermerkt. Mittels neuartiger Machine Learning-Analysemethoden können die Datenmengen nach interessanten Zusammenhängen durchsucht werden. Die Zielstellung liegt in der Auffindung neuer Korrelationen zwischen Herstellungsprozessen (Kristallisation, Wafering, Reinigung) und der resultierenden Wafer-Spezifikation beziehungsweise der Leistungsdaten der gefertigten Solarzellen. Anhand der enormen Datenmengen, welche im Projekt erfasst werden, können Prozessartefakte aufgeklärt, aber auch Qualitätsvorhersagen getroffen werden.