Kompetenzen

 

Effusionsmessungen

Während die Probe mit konstanter Temperaturrampe geheizt wird, kann die Effusion verschiedener Gase quantitativ bestimmt werden. Dies ermöglicht z.B.die Untersuchungen von Materialeigenschaften in Hochtemperaturprozessen.

 

Polymeranalytik und
Polymerbewertung

Thermo-mechanisches Verhalten, chemische Analytik, Alterung, Beständigkeit sowie Barriereeigenschaften von Folien und Membranen.

 

Saubere Wafer

Anorganische und organische Verunreinigungen auf Waferoberflächen beeinträchtigen die nachfolgenden Prozessschritte sowie die finale Bauteilfunktion. Wir unterstützden die zuverlässige Prozessüberwachung.

 

Hochreine Oligosilane

Die Entwicklung innovativer Prekursoren für verschiedenste Abscheideprozesse unterstützen wir mit leistungsstarker Spurenanalytik und entsprechender Methodenentwicklung.

 

Ultraspurenanalyse

Je nach Kundenwunsch bieten wir sowohl Analytikdienstleistungen als auch Ursachenaufklärungen und komplexe Problemlösungen an.