Die Entwicklung innovativer Prekursoren für verschiedenste Abscheideprozesse unterstützen wir mit leistungsstarker Spurenanalytik und entsprechender Methodenentwicklung.
Ob zur Kontrolle von Beschichtungsprozessen, Optimierung von Recycling oder zur Echtzeit-Materialkontrolle auf dem Förderband - Laser Induced Breakdown Spektroskopie (LIBS) ermöglicht die in-line Analyse von Elementgehalten.
Anorganische und organische Verunreinigungen auf Waferoberflächen beeinträchtigen die nachfolgenden Prozessschritte sowie die finale Bauteilfunktion. Wir unterstützden die zuverlässige Prozessüberwachung.
Während die Probe mit konstanter Temperaturrampe geheizt wird, kann die Effusion verschiedener Gase quantitativ bestimmt werden. Dies ermöglicht z.B.die Untersuchungen von Materialeigenschaften in Hochtemperaturprozessen.
Fraunhofer-Center für Silizium-Photovoltaik CSP