Die Entwicklung innovativer Prekursoren für verschiedenste Abscheideprozesse unterstützen wir mit leistungsstarker Spurenanalytik und entsprechender Methodenentwicklung.
Ob zur Kontrolle von Beschichtungsprozessen, Optimierung von Recycling oder zur Echtzeit-Materialkontrolle auf dem Förderband - Laser Induced Breakdown Spektroskopie (LIBS) ermöglicht die in-line Analyse von Elementgehalten.
Anorganische und organische Verunreinigungen auf Waferoberflächen beeinträchtigen die nachfolgenden Prozessschritte sowie die finale Bauteilfunktion. Wir unterstützden die zuverlässige Prozessüberwachung.
Fraunhofer-Center für Silizium-Photovoltaik CSP