Kompetenzen

 

Sensorgestützte
Waferherstellung

 

Motten-Augen-Strukturen

Plasmaätzung und -texturierung von Silizium zur Entfernung von Sägeschäden und der Reflexionsgradverringerung von Oberflächen.

Black SiN

 

Siliziumcarbid-Waferherstellung

Finite-Differenzen-Methode im Zeitbereich

Zeit- und ortsaufgelöste Simulation der Reflexion, Transmission und Absorption von elektromagnetischen Wellen in Wechselwirkung mit Nanostrukturen.

Charakterisierung funktioneller Schichten

Charakterisierung funktioneller Schichten durch QSSPC-, C-V-, Kelvin- und FTIR-Messungen sowie die Bestimmung des globalen Reflexions-, Transmissions- und Absorptionsgrades.