Equipment

© Fraunhofer CSP

Überwachung des Sägeprozesses.

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Inbetriebnahme der Apparatur zur Plasmaverstärkten chemischen Gasphasenabscheidung (PECVD).

  • Ladungsträgerlebensdauer- und Widerstandsmessung an Blöcken  | SemiLab WT-2000P
  • IR-Durchleuchtungssystem zur Identifizierung von SiC/SiN Einschlüssen in Blöcken | Intego FRA 1307
  • Flächen- und Fasenschleifen |  Arnold Typ 72/860 und Typ 72/852, Okamoto Typ SIG 154 H
  • Zuschnitte und Quadrierung von Mono- und Multikristallen | Meyer Burger BS805
  • Waferherstellung (Industriestandard) | Meyer Bruger DS264, Meyer Bruger DS265 (Sensorüberwachung)
  • Inline-Waferreinigung (Industriestandard) | Schmid Typ 64, Schmid Typ 58
  • Inline-Messanlage mit Sortiereinheit zur Waferendkontrolle und Klassifizierung | Hennecke Typ He-WI-03
  • Medienverbrauchsmessung (Strom und Kühlung) | Johnson Controls und FRAKO

 

  • Plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung I Oxford Instruments Plasmalab 65
  • Plasmaätzanlage I Oxford Instruments Plasmalab ICP 65
  • Reflexionsgradmessung I Perkin Elmer Lambda 1050
  • Kelvin-Sonde I tbd
  • Langmuir-Sonde I Impedans
  • C-V-Messplatz I tbd
  • QSSPC I Sinton Instruments WCT-120