Geräte und Methoden

  • Czochralski EKZ-2700: Einkristalle ≤9“ (Länge: 70 cm); p-Typ / n-Typ Material; Restgasanalyse; Nachchargierung (optional)
  • 2x Czochralski EKZ-3500: Einkristalle ≤12“ (Länge: 200 cm); aktive Kristallkühlung
  • Dünnstabziehanlage (DZA 3000)
  • FZ-14: Einkristalle 4“ (Länge: 130 cm)
  • FZ-35: Einkristalle bis 8“; p-Typ, n-Typ
  • VGF-732: G4 Hot-Zone (250 kg); Restgasanalyse (MKS); In-situ Messung der Kristallisationsrate
  • Vakuum-Induktionsschmelzanlage (Steremat)
  • Mechanische Kristallbearbeitung: Ingot-Shaper IS-160 MK-II
  • Hochauflösende Optik zur Phasengrenzbeobachtung
  • GD-MS (ThermoScientific): Analyse von Restverunreinigungen im ppb Bereich; gepulste Quelle für erhöhte Ortsauflösung
  • LPS / PL: Lateral photovoltage scanning mit integrierter Photolumineszenz
© Foto Fraunhofer CSP

Im Labor für Kristallisationstechnologien stehen zwei Czochralski EKZ-3500 zur Züchtung von Einkristallen von einer Größe bis zu 12“ zur Verfügung.